簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "彩色".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="動態量測"


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    動態量測拋光墊系統於修整性能與銅膜晶圓化學機械平坦化之相關性研究
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生: 廖偉程 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究延續蔡明城開發之動態量測拋光墊性能指標系統,透過彩色共軛焦感測器架設於CMP機台上,利用拋光機盤面旋轉與搖臂搖擺達到拋光墊大面積掃描,利用自製軟體分析其表面訊號,計算拋光墊非均勻度(PU)、壽…
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